ICP光譜儀的儀器性能需要定期進(jìn)行校準，一般是六個(gè)月，校準的項目主要有以下幾項：
一、波長(cháng)的正確性和重復性
  波長(cháng)的正確性和重復性利用汞燈準值即可完成。在光路入射處安裝一個(gè)汞燈，然后用它的一條固定譜線(xiàn)來(lái)校正光路。按下控制面板上的汞燈鍵，如汞燈無(wú)讀數，則按INCREASE或DECREASE鍵進(jìn)行調整，使讀數在20～100之間。進(jìn)入ICP軟件，啟動(dòng)運行光譜儀中的多色儀校準程序，計算機會(huì )自動(dòng)找到峰值位置，狹縫汞線(xiàn)對正汞的出射狹縫，其它元素通道的出射狹縫也就對正了。

二、系統試驗
  1、電子試驗：通過(guò)置換PMT信號的試驗電壓來(lái)測試積分器和A/D轉換器電路，檢查測量系統。
  2、滲漏試驗：檢查積分模擬開(kāi)關(guān)的狀態(tài)，結果符合出廠(chǎng)技術(shù)要求。
  3、暗電流試驗：在每個(gè)通道上都進(jìn)行測量，以便測定在無(wú)光條件下由光電倍增管產(chǎn)生的殘余電流。
  4、穩定性試驗：用來(lái)長(cháng)期測試系統電子元件，儀器開(kāi)機穩定后，4小時(shí)內每隔15分鐘測量一次，共16次，然后由計算機算出相對標準偏差（RSD％）。

三、檢出限的校準
  ICP光譜儀處于穩定狀態(tài)后，用6％鹽酸溶液進(jìn)行霧化，測量各個(gè)元素的檢出限，依據日常分析范圍和出廠(chǎng)要求，判斷儀器是否合格。

四、精密度的校準
   儀器穩定后，用標準溶液進(jìn)行霧化，按照設定的計算機程序連續測量12次，此組數據不得取舍或補測，由計算機算出平均值、標準偏差和精密度RSD。

五、測量準確度的校準
  ICP光譜儀穩定后，光路準值，在適宜、正確的格式文件下，用適中的標準樣品對工作曲線(xiàn)進(jìn)行標準化校正，對檢查樣品進(jìn)行測量，結果應符合GB222－84要求。